田怡春

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：液相外延GAAS湿法刻蚀液相外延生长VCSEL更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金科技部基础性研究重大项目国家教育部博士点基金更多>>
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液相外延生长GaAs微探尖刻蚀剥离技术研究被引量：1
《光电子．激光》2008年第11期1490-1492,共3页梁秀萍 冯秋菊 张贺秋 田怡春 张红治 孙晓娟 胡礼中 
国家自然科学基金资助项目(60777009)
介绍一种用于扫描近场光学显微术(NSOM)传感头的GaAs微探尖的生长剥离技术。通过SiO2掩膜窗口,利用一次选择液相外延制备周期性阵列的GaAs微探尖。在GaAs衬底与GaAs微探尖之间引入AlGaAs层,并对窗口大小的AlGaAs层进行选择腐蚀,将单个G...
关键词：液相外延 微探尖 湿法刻蚀 扫描近场光学显微术 
LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成被引量：1
《光电子．激光》2008年第9期1185-1187,共3页田怡春 胡礼中 梁秀萍 张红治 潘石 
国家自然科学基金资助项目(60377005);科技部重大基础研究项目前期研究专项基金资助项目(2004CCA03700);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20060141026)
介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上...
关键词：粘合集成 微探尖 液相外延 扫描近场光学显微术 
GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移被引量：2
《人工晶体学报》2007年第1期89-92,共4页孙晓娟 胡礼中 田怡春 张籍权 张红治 梁秀萍 潘石 
国家自然科学基金(No.60377005);科技部重大基础研究项目前期研究专项基金(No.2004CCA03700)
报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法—GaAs衬底选择湿法刻蚀技术。利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征。结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥...
关键词：湿法刻蚀 液相外延 微探尖 扫描近场光学显微术 
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