柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究  

Key Design of Flexible Neural Microelectrode Arrays and Its Microfabrication Process

作　　者：吴义伯[1] 邢玉梅[1] 倪鹤南[1] 徐爱兰[1] 惠春[2] 任秋实[2] 李刚[3] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030 [2]上海交通大学生命科学技术学院,上海200030 [3]中国科学院上海微系统与信息技术研究所生物芯片实验室,上海200050

出　　处：《微细加工技术》2008年第2期43-47,共5页Microfabrication Technology

基　　金：973项目资助(2005CB7243022005CB724305);中国博士后科学基金资助项目(20070410724)

摘　　要：采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。Microelectrode arrays （MEAs） are the key components in retinal implant for stimulating neural signals. A kind of flexible neural microelectrode arrays （MEAs） were developed on a new polymer, parylene which has an excellent performance. Some key theoretical questions for the fabrication of flexible M EAs were developed, accounting for electrode structure, lead wire and electrode material, etc. A Micro-Electro-Mechanical Systems （MEMS） process was introduced to fabricate the parylene-based MEAs.

关 键 词：微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 柔性基底 视网膜修复 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]