吴义伯

作品数：8被引量：21H指数：3
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供职机构：上海交通大学更多>>
发文主题：微机电系统技术双稳态微机电技术电热驱动金属更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电气工程电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《系统仿真学报》《微细加工技术》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展被引量：5
《传感器与微系统》2011年第5期1-4,7,共5页陶凯 丁桂甫 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 
高等学校科技创新工程重大计划资助项目(708037);国家自然科学基金资助项目(51007001);国家重点实验室基金资助项目(9140C7903011007)
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
关键词：微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工 
一种金属基聚合物电热微驱动器的设计与仿真被引量：3
《系统仿真学报》2010年第7期1752-1756,共5页吴义伯 丁桂甫 张小波 王亚攀 张丛春 
国家自然科学基金(50675139);国家高技术研究发展计划"863"项目(2007AA04Z338);教育部培育基金项目(708037)
提出了一种用于双稳态MEMS继电器的面外运动金属基聚合物电热微驱动器,下层结构使用了环氧树脂型SU-8胶作为驱动层,中间层为蛇形镍电阻丝发热层,上层结构为金属偏置层,构成的多层膜结构在常温下保持悬空部分平直,通电时产生的焦耳热使...
关键词：面外运动 电热驱动 双层膜效应 SU-8 优化仿真 
柔顺双稳态机构的研究现状与进展被引量：1
《传感器与微系统》2010年第7期1-3,7,共4页王娟 吴义伯 张丛春 丁桂甫 
由于柔顺机构和双稳态机构分别所具有的独特优势,已使柔顺双稳态机构成为目前国内外研究的新热点。综合论述了基于MEMS技术的柔顺双稳态机构的最新研究成果,根据柔顺双稳态机构的驱动机制,系统介绍了机械锁定型、电热锁定型、磁致锁定...
关键词：柔顺机构 双稳态 锁定机构 微机电系统 
Si／TiNi双层结构SMA电热驱动器的仿真和制造
《微纳电子技术》2010年第2期93-98,共6页王亚攀 吴义伯 张小波 张丛春 杨春生 
国家自然科学基金资助项目(50675139);国家高技术研究发展计划“863”资助项目(2007AA04Z338)
使用射频磁控溅射法,在Si片上沉积了TiNi形状记忆合金薄膜,分别采用能谱色散光谱仪(EDS)和差示扫描热量分析(DSC)方法测试了薄膜的成分和相变特征温度,并通过给形状记忆合金(SMA)薄膜加热及冷却,观察薄膜的形变恢复情况,定性测试了SMA...
关键词：电热驱动器 双层结构 TiNi基形状记忆合金薄膜 ANSYS仿真 Si微细加工技术 
一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器被引量：6
《传感器与微系统》2009年第8期118-120,共3页张小波 吴义伯 王亚攀 张丛春 丁桂甫 
国家自然科学基金资助项目(50675139);国家"863"计划资助项目(2007AA04Z338)
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出...
关键词：电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工 
用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征
《仪器仪表学报》2008年第12期2527-2531,共5页吴义伯 徐爱兰 惠春 任秋实 李刚 
国家重点基础研究发展计划973项目(2005CB724305)资助
用于视网膜修复的神经微电极阵列（MEAs）是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯（Parylene）为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能...
关键词：柔性微电极阵列 聚对二甲苯 视觉修复 微加工工艺 电化学方法 
柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究被引量：2
《微细加工技术》2008年第2期43-47,共5页吴义伯 邢玉梅 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 李刚 
973项目资助(2005CB7243022005CB724305);中国博士后科学基金资助项目(20070410724)
采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。
关键词：微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 柔性基底 视网膜修复 
基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究被引量：7
《半导体技术》2007年第12期1018-1020,1036,共4页吴义伯 侯安州 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 
国家973资助项目(G2005CB7243002)
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一...
关键词：柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口 
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