MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展  

Research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in MEMS

作　　者：陶凯[1] 丁桂甫[1] 杨卓青[1] 王佩红[2] 吴义伯[1] 汪红[1] 王艳[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240 [2]安徽大学物理与材料科学学院,安徽合肥230039

出　　处：《传感器与微系统》2011年第5期1-4,7,共5页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：高等学校科技创新工程重大计划资助项目(708037);国家自然科学基金资助项目(51007001);国家重点实验室基金资助项目(9140C7903011007)

摘　　要：概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。Recent progress in integrated micromachining methods of permanent magnetic materials in the application of micro-electro-mechanical systems（MEMS）is reviewed.Four major manufacturing technologies of permanent magnetic films,including electro-deposition,sputtering,pulsed laser deposition（PLD）and micro-bonded magnet are introduced.Their respective advantages and disadvantages are compared.Meanwhile,some suggestions of the future perspective are pointed out.

关 键 词：微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工 

分 类 号：TM273[一般工业技术—材料科学与工程]