用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征  

Electrical characterization of flexible neural microelectrode array for retinal prosthesis

作　　者：吴义伯[1,2] 徐爱兰[1] 惠春[2] 任秋实[2] 李刚[3] 

机构地区：[1]上海交通大学生命科学技术学院,上海200240 [2]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200240 [3]中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室,上海200050

出　　处：《仪器仪表学报》2008年第12期2527-2531,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家重点基础研究发展计划973项目(2005CB724305)资助

摘　　要：用于视网膜修复的神经微电极阵列（MEAs）是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯（Parylene）为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了表征。结果表明,基于Parylene柔性微电极阵列的阻抗值在中频段呈现高通特性,其阻抗值及相位角分别为2 000--100Ω和-20°,有利于实现植入式视觉假体系统对视神经进行功能性电刺激。Substrate-integrated microelectrode arrays have become one of the hottest topics in the world, which are used in implantable prosthesis for recording of neural signals or electrical stimulation of nerves. A new type of flexible microelectrode arrays based on parylene is developed in this paper. And the electrical performance of the flexible neural MEAs is characterized using electrochemical methods. Test results suggest that the impedance value of the parylene-based MEAs is in the range of 2 000 - 100Ω, and its phase angle is - 20° in medium frequency band. With these electrical performances, functional electrical stimulation can be realized easily for implantable system.

关 键 词：柔性微电极阵列 聚对二甲苯 视觉修复 微加工工艺 电化学方法 

分 类 号：TP212.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]