电子束曝光机的误差与数据处理  

ERRORS AND DATA PROCESSING OF ELECTRON BEAM EXPOSURE MACHINE

作　　者：李士章[1] 冯友彬 余越[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学电子束技术研究室,哈尔滨150001

出　　处：《微细加工技术》1997年第3期1-9,共9页Microfabrication Technology

摘　　要：本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各种误差的来源与类型，误差的影响与估算．以及误差的综合与数据处理。In this paper, the sources and types of different errors affecting the fabricating precision of the electron beam exposure machine are analyzed. And the affection evaluation, synthesis and data processing of errors are stated.

关 键 词：电子束曝光机 加工精度 误差 数据处理 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]