余越

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文主题：电子束曝光机电子光学套准精度半导体器件半导体工艺更多>>
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发文期刊：《仪器仪表学报》《微细加工技术》更多>>
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电子束曝光机的误差与数据处理
《微细加工技术》1997年第3期1-9,共9页李士章 冯友彬 余越 
本文综合分析了影响电子束曝光机加工精度的各种误差的来源与类型，误差的影响与估算．以及误差的综合与数据处理。
关键词：电子束曝光机 加工精度 误差 数据处理 
电子束曝光机的加工精度被引量：1
《仪器仪表学报》1996年第S1期239-239,共1页李士章 冯友彬 余越 
电子束曝光机的加工精度李士章，冯友彬，余越（哈尔滨工业大学电子束技术研究室）０引言电子束曝光机是当代微细和超微细加工的核心工艺装备。早在七十年代美国ＩＢＭ公司就用ＳＡ直径的电子束加工出８０Ａ线宽、１００人厚的金属结构...
关键词：电子束曝光机 加工精度 套准精度 超导量子干涉器件 电子束技术 误差因素 哈尔滨工业大学 误差的影响 电子光学柱 超微细加工 
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