推出VICTREX PEEK 制造的CMP固定环和晶舟  

出　　处：《现代塑料》2008年第9期8-8,共1页Plastics Technology

摘　　要：世界领先的光罩全方位解决方案供应商家登精密工业股份有限公司（Gudeng Precision Industrial Co．，LTD）推出了采用VICTREX PEEK 聚合材料制造的8”和12”化学机械研磨固定环（简称“CMP固定环”），不仅有效地降低了晶圆污染，而且使用寿命更长。

关 键 词：PEEK CMP 制造 Industrial PRECISION 环和 化学机械研磨 聚合材料 

分 类 号：TQ326.5[化学工程—合成树脂塑料工业] TN305[电子电信—物理电子学]