金属含量极低的新型乙烯单体  

出　　处：《现代化工》2008年第11期92-92,共1页Modern Chemical Industry

摘　　要：日本旭化成精细化学（Asahi Kasei Finechem）公司发明了一种合成乙烯基磺酸（作为乙烯单体）的技术，其金属如钠、钙、铁和铬）含量小于100μg/g。这项成果将会推动新型乙烯单体在光致抗蚀剂上的快速发展，特别是要求金属含量尽可能低的半导体制造领域。

关 键 词：乙烯单体 金属含量 日本旭化成 光致抗蚀剂 精细化学 制造领域 乙烯基 半导体 

分 类 号：TQ226.61[化学工程—有机化工] TS976.3[轻工技术与工程]