除了性能,环保、成本也很重要  

作　　者：Aaron Hand Executive Editor 

机构地区：[1]Electronic Media

出　　处：《集成电路应用》2008年第10期23-23,共1页Application of IC

摘　　要：随着对清洗技术的要求与日俱增,成本因素也变得越发重要。但是这一切并非是无本之源,如果清洗技术的表现差强人意,那么经济方面也不会有显著的改善。Tokyo Electron公司资深应用工程师Ian Brown说：“对于清洗技术而言不仅需要在提高清洗能力、效率、避免材料损失、确保刻蚀均匀性等方面有所建树，而且还要进一步降低成本花费。”实现绿色清洗，那么就必须满足性能和成本两方面的需求。

关 键 词：成本因素 性能 环保 清洗技术 TOKYO BROWN 清洗能力 绿色清洗 

分 类 号：TS952.83[轻工技术与工程] X793[环境科学与工程—环境工程]