导体刻蚀系列  

出　　处：《集成电路应用》2008年第10期45-45,共1页Application of IC

摘　　要：2300 Versys Kiyo3x导体刻蚀系列产品CD一致性达到1nm（晶圆3σ水平）。这个第三代产品线包括对晶圆温度控制的改进，能够采用射线调节边缘控制和轮廓修正。该系统具有覆膜前和刻蚀后腔室清洗技术，

关 键 词：刻蚀 导体 温度控制 轮廓修正 边缘控制 清洗技术 产品线 一致性 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学] TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]