氮氧化硅光波导的制作途径、性质及应用  

Technology,Properties and Application of SiON Planar Optical Waveguides

作　　者：祖继锋[1] 余宽豪 

机构地区：[1]辽宁师范大学 [2]上海冶金所微电子学分部

出　　处：《半导体技术》1998年第1期10-14,共5页Semiconductor Technology

摘　　要：重点分析了硅基ＳｉＯＮ光波导的工艺制作途径及其有关性能。根据有关实验结果，讨论了工艺中存在的问题，最后给出了它的应用。The technology and some properties of SiON optical waveguides are analyzed mainly in this paper.According to some experimental results,we discuss the problems existing in technology,and present its application.

关 键 词：氮氧化硅 化学汽相淀积 光波导 制造工艺 

分 类 号：TN252.05[电子电信—物理电子学]