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作　　者：王玲 田惠娟 

出　　处：《微纳电子技术》2009年第1期62-62,共1页Micronanoelectronic Technology

关 键 词：产品 MEMS Tec公司 传感器件 XEF2 键合机 STS 定位仪 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学] TH-39[机械工程]