椭偏法测膜厚的直接计算方法  

作　　者：吴永汉[1] 窦菊英[1] 

机构地区：[1]云南大学物理系,昆明650091

出　　处：《物理实验》1998年第1期11-13,共3页Physics Experimentation

摘　　要：改进了椭偏法测薄膜折射率和膜厚的迭代计算方法，由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出薄膜折射率和膜厚．

关 键 词：椭偏法 迭代计算 薄膜 折射率 膜厚 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]