MCM基极电测试技术  

Electrical Test Technology of MCM's Substraies

作　　者：田东方[1] 李自学[1] 

机构地区：[1]西安微电子技术研究所,西安710054

出　　处：《微电子学与计算机》1998年第3期28-31,共4页Microelectronics & Computer

摘　　要：对于复杂的MCM多层互连基板，电测试是控制成本、确保质量的关键环节。本文简要介绍了探针电阻、电容、电子束、潜在开路缺陷电测试及其测试技术的应用。Fox complex MCM substrates, electrical test is afundamental element of cost control and quality assurance' This paper presents electrical test of MCM substrates which include: probe resistance. capcitance.electron beam. latent open defects and applications ofthe test technologies.

关 键 词：电测试 多层基板 MCM 微模组件 

分 类 号：TN420.7[电子电信—微电子学与固体电子学]