铰链四杆单面抛光机构运动轨迹的仿真研究  

作　　者：方坤礼[1] 蒋晓英[1] 张庆功[1] 

机构地区：[1]衢州学院(筹)机电工程系,浙江衢州324000

出　　处：《机械制造》2009年第3期22-23,共2页Machinery

基　　金：衢州市科技计划项目(编号:20061038)

摘　　要：针对解析法研究研磨轨迹存在建立数学方程烦琐,参数变化后需反复求解和重新模拟轨迹等问题,提出了采用虚拟样机技术研究轨迹的方法。以铰链四杆单面抛光机构为研究对象,运用ADAMS软件实现了晶片单面抛光的运动轨迹仿真。结果表明,使用虚拟样机技术能够快速、准确地获得铰链四杆单面抛光机构驱动下晶片质心的运动轨迹,并且轨迹形状主要由机构输入的运动参数决定。

关 键 词：虚拟样机 ADAMS 轨迹仿真 

分 类 号：TH133.5[机械工程—机械制造及自动化] TG580.699[金属学及工艺—金属切削加工及机床]