机构、驱动、检测一体化的压电陶瓷直线驱动模块的研究  

Study on Translational Piezoelectric Driving ModuleIntegrating Mechanism,Actuator and Sensor

作　　者：江溯[1] 孙立宁[1] 安辉[1] 李国君 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学机器人研究所

出　　处：《哈尔滨工业大学学报》1998年第2期34-37,共4页Journal of Harbin Institute of Technology

基　　金："八六三"计划

摘　　要：介绍了一种结构紧凑、具有纳米级位移分辨率、动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。该驱动模块采用了基于弹性变形原理的微位移机构，并在模块内部藏有电阻应变式微位移传感器，实现了＊机构、驱动、检测一体化。This paper presents a compact translational piezoelectric driving module with nano* displacement resolution and very good dynamic characteristics and the module with a micro displacement mechanism equipped with inner micro sensors based on eastic deformation theory, which integrates mechanism, actuator and sensors.

关 键 词：机构 检测一体化 压电陶瓷 直线驱动模块 机器人 

分 类 号：TP242.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]