氧化锌微米棒的微观生长过程  

Microcosmic Growth Process of ZnO Microrods

作　　者：王维维[1] 朱丽萍[1] 叶志镇[1] 王敬蕊[1] 杨叶锋[1] 何海平[1] 赵炳辉[1] 

机构地区：[1]浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027

出　　处：《材料科学与工程学报》2009年第3期348-351,共4页Journal of Materials Science and Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50572095;50772099);浙江省自然科学基金资助项目(Y407183)

摘　　要：利用物理热蒸发方法在光滑的(111)硅衬底上生长氧化锌微米棒,生长温度为700℃。在硅衬底的不同区域由于生长环境不同,生成物的形貌也不相同。利用扫描电镜图可以很直观地推测出一个完整的氧化锌微米棒生长过程。透射电镜图片显示了纳米棒与微米棒之间完美的外延关系。ZnO microrods were synthesized on Si （111） by thermal evaporation at 700℃. Different growth environments bring to the different morphologies of the depositions. A growth mechanism of the microrods was schematically put forward through scanning electrical microscopy （SEM） images. Transmission electron microscopy （TEM） images showed the perfectly epitaxial relationship between the ZnO nanorods and microrods.

关 键 词：晶体外貌 外延生长 物理热蒸发 自组装 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程]