硅微机械二维加速度计的结构设计  

Design of dual-axis micromachined accelerometer

作　　者：鲍路路[1,2] 孔德义[1] 林丙涛[1,2] 江儒龙[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,安徽合肥230031 [2]中国科学技术大学,安徽合肥230027

出　　处：《传感器与微系统》2009年第7期71-73,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60574093;60871037)

摘　　要：提出了一种新型的双轴电容式微机械加速度计的结构形式。采用1个质量块敏感2个正交方向的加速度,设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦,且结构稳定性好。详细讨论了该加速度计的工作原理,并利用有限元软件对敏感结构进行了静态和模态分析,从理论上验证了所提出的双轴电容式微机械加速度计整体结构的可行性。A novel structure of dual-axis capacitive micromachined accelerometer is introduced. A proof mass is sensitive to two orthogonal accelerations. The full symmetry structure with comb fingers makes cleverly the decoupling of two orthogonal accelerations and has high stability. After discussing the work principle of this element, the modality and static analysis are used by ANSYS. The results show that the structure can fulfill the design demands in theory.

关 键 词：微加速度计 梳状电极 有限元仿真 

分 类 号：TP203[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]