国外对宇航用射频MEMS开关的研究  

作　　者：黄正[1] 王庚林 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十研究所,安徽蚌埠233010 [2]北京市科通电子继电器总厂,北京100054

出　　处：《机电元件》2009年第2期48-52,58,共6页Electromechanical Components

摘　　要：本文介绍了国外对宇航用射频MEMS开关的研究,包括其性能、结构、技术成熟度、生产制造、可靠性及环境应力。

关 键 词：宇航 MEMS 射频开关 可靠性 

分 类 号：TM58[电气工程—电器]