集成电路刻蚀效果三维显示及其关键技术研究  

3D display for integrate circuit etching result and key technology research

作　　者：吴永亮[1] 万旺根[1] 崔滨[1] 

机构地区：[1]上海大学通信与信息工程学院,上海200072

出　　处：《计算机工程与应用》2009年第23期214-216,230,共4页Computer Engineering and Applications

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)No.2007AA01Z319;上海市国际合作项目(No.075107035);上海市教委电路与系统重点学科(No.J50104);上海大学研究生创新基金项目~~

摘　　要：集成电路仿真是集成电路制造的重要辅助方法,刻蚀过程是集成电路制造的一个重要的过程。使用三角形面片对刻蚀过程进行建模,并推导出连接不同面的平面和曲面的计算公式。最后给出了刻蚀显示仿真结果。结果显示,刻蚀结果清晰,绘制速度快,占用资源少,可以满足实际的刻蚀显示要求。Integrate circuit simulation is an important assistant method,etching is a fatal process in the integrate circuit manufacture.The paper utilizes triangles to model the etching process,and deduces the formulas linking different planes（both plane and curve planes）.At last,the etching simulation result is depicted,which proves that the etching result is clear,the imaging speed is fast, and the resource occupancy is small,making the method practical for etching depicting.

关 键 词：刻蚀 三维 面连接 

分 类 号：TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术]