类金刚石膜结构的红外分析  

STUDY ON THE STRUCTURE OF DIAMOND_LIKE CARBON FILMS BY FTIR SPECTROSCOPY

作　　者：程宇航[1] 吴一平[1] 陈建国 乔学亮[1] 谢长生[1] 孙育斌[2] 

机构地区：[1]华中理工大学材料科学与工程系 [2]武汉工业大学分析测试中心

出　　处：《硅酸盐学报》1998年第4期508-512,共5页Journal of The Chinese Ceramic Society

基　　金：华中理工大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室资助

摘　　要：采用直流－射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜，用Ｆｏｕｒｉｅｒ透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究．类金刚石膜中大部分碳原子以ｓｐ３组态存在．结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２，ｓｐ３Ｃ—ＣＨ３和ｓｐ２Ｃ—ＣＨ２基，其含量以ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２基为主．增加Ａｒ气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响是相似的，增大极板负偏压或Ａｒ气的含量将减小类金刚石膜中ｓｐ３／ｓｐ２比值和Ｈ的含量以及ＣＨ２基的含量，同时增加薄膜的交联，减少聚合相的含量．

关 键 词：类金刚石薄膜 结构 红外光谱 气相沉积 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学] O484.1[理学—固体物理]