Pixelligent新型纳米晶材料可扩展光刻技术  

出　　处：《材料导报》2009年第16期4-4,共1页Materials Reports

关 键 词：纳米晶材料 光刻技术 可扩展 纳米复合涂料 光学光刻 设备分辨率 股权融资 商业化 

分 类 号：TB383[一般工业技术—材料科学与工程] TN305.7[电子电信—物理电子学]