压电微马达研制  

Development of the Piezo-Micromotor

作　　者：卢建国[1] 沈德新[1] 张健 张保安[1] 王渭源[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所

出　　处：《仪表技术与传感器》1998年第6期11-12,10,共3页Instrument Technique and Sensor

基　　金：国家攀登计划"微电子机械系统"资助项目

摘　　要：本文采用微机械加工研制压电微马达，用硅平面工艺首次制作了硅转子并装配成直径Φ１．８ｍｍ压电微马达，得到转速为３０～５０ｒ／ｍｉｎ。同时对转子重量、形状、激励频率与转速关系进行研究。The authors have developed a kind of piezo-micromotor using the micromachining,manufactured firstly the Si-rotor using the Si planar technology and assembled a kind of piezo-micromotor with diameter 1.8mm .The rotating speed is 30-50rpm.In addition,the anthors have studied the relationship between the rotor weight,form,exciting frequency and rotating speed.

关 键 词：压电电机 旋转波 微马达 微机械 微电机 

分 类 号：TM38[电气工程—电机]