MEMS微电机综述  

Survey on MEMS Micromotor

作　　者：戴福彦[1] 张卫平[1] 陈文元[1] 刘凯[1] 马高印[1] 肖奇军[1] 张忠榕[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030

出　　处：《微电机》2009年第8期61-64,68,共5页Micromotors

基　　金：武器设备预研基金项目(9140A09020706JW0314);国家自然科学基金项目(60402003)

摘　　要：介绍了驻极体微电机、静电感应微电机、电晕微电机、磁阻微电机、永磁微电机、超声波微电机、分子马达和纳米马达等几种微电机的结构、原理、技术指标和国内外发展应用概况。Introduced the essential principle, construction, parameter of electrets micromotor, corona micromotor, reluctance micromotor, permanent magnetic micromotor, piezoelectric ultrasonic micromo- tor, molecular micromotor and nanomotor. Described research situation, development prospect and the application at home and abroad in this paper.

关 键 词：微电机 微机电系统 微机械 驻极体 分子马达 

分 类 号：TM38[电气工程—电机]