450mm晶圆载体  

出　　处：《集成电路应用》2009年第9期46-46,共1页Application of IC

摘　　要：基于最新的450mm晶圆厂载体的SEMI标准，Beta版450mm晶圆载体的设计允许早期的450mm设备集成和晶圆处理研究。Entegris还提供450mm单晶圆和多晶圆晶舟（前开式晶舟盒，FOSB）。这款Beta版450mmFOSB采用ISTA（国际安全运输协会）认证的二级封装系统，能安全可靠地传送450mm晶圆。

关 键 词：单晶圆 载体 Beta版 SEMI 设备集成 封装系统 安全运输 ISTA 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学] Q782[生物学—分子生物学]