LSIC凸多边形版图场分割数据处理的一种方法  

DATA PROCESSING OF FIELD DIVISION OF CONVEX POLYGON PATTERNS IN LSIC

作　　者：胡咏梅[1] 陈振生[1] 姚作宾[1] 王绍钧[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系,济南250061

出　　处：《微细加工技术》1998年第3期7-14,共8页Microfabrication Technology

摘　　要：本文介绍了一种凸多边形版图场分割数据处理的方法 ,详细分析了凸多边形场分割数据处理的算法。The article introduces a method of the field division data processing of the convex polygon patterns . A algorithm of the field division data processing of the convex polygon is described in detail.

关 键 词：版图 图形场分割处理 LSIC 电子束曝光机 

分 类 号：TN470.57[电子电信—微电子学与固体电子学]