状态机在离子注入机中的应用  

Application of FSM in Ion Implanter

作　　者：罗宏洋[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司电子第四十八研究所,湖南长沙410111

出　　处：《电子工业专用设备》2009年第9期49-53,共5页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。The reason of using FSM in the ion implanter control software modeling is reported, the construction of control software and the hierarchy of FSM and the method of compiling FSM to C＋＋ programs are reported also, and the advantage of the ion implanter control software designed by using FSM is introduced.

关 键 词：有限状态机 层次状态机 建模 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]