罗宏洋

作品数：5被引量：6H指数：1
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发文主题：离子注入机控制系统层次状态机状态机有限状态机更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《电子工业专用设备》更多>>
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强流氧离子注入机装卸片控制系统被引量：1
《电子工业专用设备》2009年第9期38-40,共3页罗宏洋 汤辉 龙娟 
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。
关键词：离子注入机 微粒污染 全自动 装卸片 
状态机在离子注入机中的应用被引量：4
《电子工业专用设备》2009年第9期49-53,共5页罗宏洋 
报告了在离子注入机控制软件建模时使用状态机的原因,以及控制软件的结构、状态机的层次结构和由状态机自动生成代码的方法,并介绍了应用状态机设计开发的离子注入机控制软件的优点。
关键词：有限状态机 层次状态机 建模 
大角度离子注入机控制系统软件设计被引量：1
《电子工业专用设备》2009年第2期19-23,共5页罗宏洋 孙勇 王玮琪 
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。
关键词：大角度离子注入机 软件结构 SEMI自动化软件标准 
光学编码器在离子注入机中的应用
《微细加工技术》2004年第1期28-31,共4页孙勇 罗宏洋 龙娟 
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其...
关键词：光学编码器 离子注入机 位置偏差 大规模集成电路 机电一体化 控制系统 
氮窑氧含量巡回检测分析仪程序设计
《微细加工技术》2002年第3期75-80,共6页罗宏洋 汤辉 龙娟 
介绍了一种新型的氧含量检测设备及其程序设计。描述了该设备中使用的监控程序设计算法 ,该算法吸收并改进了多种流行的监控程序编写算法 ,实践表明 ,该算法用于复杂菜单设计时可节约编程时间 。
关键词：氮窑 氧含量 检测分析仪 程序设计 监控程序 状态分析法 
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