孙勇

作品数:7被引量:8H指数:2
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供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
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发文领域:电子电信更多>>
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大角度离子注入机的束纯度控制
《电子工业专用设备》2011年第1期21-23,共3页王迪平 孙勇 
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性。
关键词:大角度离子注入机 加/减速 多电荷 束线系统 束能量纯度 二次离子质谱分析仪(SIMS) 
大角度离子注入机的束流自动调节被引量:1
《电子工业专用设备》2010年第9期17-22,共6页王迪平 孙勇 
阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。
关键词:大角度离子注入机 自动束流调节 菜单 固定法拉第杯 均匀性 
大角度离子注入机中的颗粒污染被引量:2
《电子工业专用设备》2010年第7期5-8,51,共5页王迪平 孙勇 
针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染。
关键词:大角度离子注入机 颗粒污染 产生 注入掺杂 预防 
大角度离子注入机控制系统软件设计被引量:1
《电子工业专用设备》2009年第2期19-23,共5页罗宏洋 孙勇 王玮琪 
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。
关键词:大角度离子注入机 软件结构 SEMI自动化软件标准 
大角度离子注入机控制系统的研制被引量:1
《微细加工技术》2006年第2期16-20,共5页伍三忠 孙勇 王迪平 
介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等。经实验证明,该控制系统稳定、可靠。
关键词:大角度离子注入机 集散式控制 双端口巡检控制器 子控制器 软件结构 
LC19离子注入机控制方法及主控制器原理分析被引量:3
《微细加工技术》2005年第1期12-16,共5页邱小莎 伍三忠 孙勇 
为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠。LC19离子注入机控制系统采用主从集中式控制方法,较好地解决了控制功能复杂与控...
关键词:大角度离子注入机 控制器 异常处理 软件流程 
光学编码器在离子注入机中的应用
《微细加工技术》2004年第1期28-31,共4页孙勇 罗宏洋 龙娟 
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其...
关键词:光学编码器 离子注入机 位置偏差 大规模集成电路 机电一体化 控制系统 
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