大角度离子注入机

作品数：14被引量：8H指数：2
导出分析报告
相关领域：电子电信经济管理更多>>
相关作者：孙勇王迪平伍三忠邱小莎王玮琪更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所北京中科信电子装备有限公司国防科学技术大学中国电子科技集团更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国集成电路》《半导体信息》《电子工业专用设备》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
9产品名称：90—65nm大角度离子注入机
《电子工业专用设备》2016年第2期49-50,共2页
研制单位： 北京中科信电子装备有限公司 产品介绍： 90～65nm大角度离子注入机是“十一五”期间实施的“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”国家科技重大专项中的项目之一。该设备分为束线、靶室、电气、辅助、控制5大系统，共8...
关键词：离子注入机 大角度 产品名称 大规模集成电路 “十一五” 研制单位 电子装备 产品介绍 
“90-65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目通过验收
《电子技术与软件工程》2014年第5期8-9,共2页
2014年1月18，19同，由国家三部委（科技部、财政部、发改委）和北京市联合组织，02专项实施管理办公室牵头，对北京中科信公司承担的“90．65纳米大角度离子注入机研发及产业化”项目进行验收，来自装备、工艺、集成电路制造、财务等...
关键词：离子注入机 产业化 大角度 研发 纳米 集成电路制造 联合组织 验收工作 
大角度离子注入机的束纯度控制
《电子工业专用设备》2011年第1期21-23,共3页王迪平 孙勇 
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性。
关键词：大角度离子注入机 加/减速 多电荷 束线系统 束能量纯度 二次离子质谱分析仪(SIMS) 
国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线
《电子工业专用设备》2010年第11期64-64,共1页
由北京中科信电子装备有限公司自主研发的300mm/65nm大角度离子注入机进入中芯国际（北京）集成电路制造有限公司,开始接受国际主流生产线的技术测试与器件工艺检验,为这一国产集成电路制造装备实现重大技术跨越作最后的冲刺。
关键词：离子注入机 生产线 大角度 国产 集成电路制造 晶圆 自主研发 电子装备 
大角度离子注入机的束流自动调节被引量：1
《电子工业专用设备》2010年第9期17-22,共6页王迪平 孙勇 
阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。
关键词：大角度离子注入机 自动束流调节 菜单 固定法拉第杯 均匀性 
大角度离子注入机中的颗粒污染被引量：2
《电子工业专用设备》2010年第7期5-8,51,共5页王迪平 孙勇 
针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染。
关键词：大角度离子注入机 颗粒污染 产生 注入掺杂 预防 
国产65nm大角度离子注入机进入晶圆生产线
《半导体信息》2010年第6期13-14,共2页黄玉英 
关键词：晶圆生产 NM 离子注入机 集成电路制造 中芯国际 北京中科 国际主流 制程工艺 技术跨越 技术水平 
大角度离子注入机控制系统软件设计被引量：1
《电子工业专用设备》2009年第2期19-23,共5页罗宏洋 孙勇 王玮琪 
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。
关键词：大角度离子注入机 软件结构 SEMI自动化软件标准 
大角度离子注入机控制系统软件设计
《微细加工技术》2008年第6期1-3,共3页伍三忠 吴学忠 
介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
关键词：大角度离子注入机 系统软件 软件模块 软件结构 
M5525100-1/UM型大角度离子注入机
《中国集成电路》2007年第7期46-47,共2页
1、产品及其简介 M5525100—1／UM型大角度离子注入机可满足100纳米，8英寸集成电路制造工艺的要求，适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入，可获得良好的注入均匀性、重复性。M5525100—1／UN型大角度离子注入机突破了离...
关键词：离子注入机 大角度 集成电路制造工艺 M型 电源系统 总体设计 可靠性设计 辅助系统 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部