王迪平

作品数：5被引量：4H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：大角度离子注入机集散式控制控制系统均匀性子控制器更多>>
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空间植物栽培用OLED平板光源的设计与实现
《载人航天》2016年第4期488-493,共6页陈长平 王迪平 张建国 董克冰 钟新华 
载人航天预先研究项目(040201)
针对空间植物栽培对光照的需求,研制了一种高效、高亮度,能在特殊环境中长时间稳定工作的叠层OLED平板光源样机。测试结果表明,该平板光源在15 V电压的驱动下,发光亮度高达2198 cd/m2,在电流密度为25 m A/cm2条件下,达到最大发光效率46....
关键词：n太空植物栽培 OLED平板光源 高效 高亮度 
大角度离子注入机的束纯度控制
《电子工业专用设备》2011年第1期21-23,共3页王迪平 孙勇 
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性。
关键词：大角度离子注入机 加/减速 多电荷 束线系统 束能量纯度 二次离子质谱分析仪(SIMS) 
大角度离子注入机的束流自动调节被引量：1
《电子工业专用设备》2010年第9期17-22,共6页王迪平 孙勇 
阐述了大角度离子注入机的束流自动调节,着重描述了新建立菜单的第一次调束,从束流的引出到固定法拉第杯获得目标束流的具体调节步骤,包括束流的均匀性检测的全部过程,另外对调束过程中的一些算法也进行了细致的介绍。
关键词：大角度离子注入机 自动束流调节 菜单 固定法拉第杯 均匀性 
大角度离子注入机中的颗粒污染被引量：2
《电子工业专用设备》2010年第7期5-8,51,共5页王迪平 孙勇 
针对大角度离子注入机中的颗粒污染进行了分析和探讨,着重描叙了颗粒的产生,对注入掺杂的影响;介绍了颗粒的测量和监控;重点列出了如何从设计上减少颗粒污染的产生途径以及生产设备怎样预防颗粒污染。
关键词：大角度离子注入机 颗粒污染 产生 注入掺杂 预防 
大角度离子注入机控制系统的研制被引量：1
《微细加工技术》2006年第2期16-20,共5页伍三忠 孙勇 王迪平 
介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等。经实验证明,该控制系统稳定、可靠。
关键词：大角度离子注入机 集散式控制 双端口巡检控制器 子控制器 软件结构 
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