钟新华

作品数：9被引量：6H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：离子注入机系统设计系统模型温度控制器控制器设计更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺冶金工程更多>>
发文期刊：《自动化博览》《工业加热》《激光与红外》《电子工业专用设备》更多>>
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单晶圆注入机注入角度测量与补偿系统设计
《电子工业专用设备》2017年第2期11-15,共5页袁卫华 钟新华 彭立波 
在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂元素在晶体管中的分布深度和范围的变化,进而导致器件参数和性能的巨大变化。研究表明注入角度控制取决于...
关键词：单晶圆 注入机 角度 测量 补偿 
适应于快速热处理设备的温度测量与控制系统设计
《工业加热》2017年第2期44-47,共4页钟新华 胡振东 龙会跃 袁卫华 
提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控制两大关键技术,提出了先进的解决方案,即一种增强反射及发射率在线测量与补偿的温度测量方法和基于系统...
关键词：快速热处理 红外测温 多输入多输出系统(MB40) 系统模型 温度控制器. 
宽带束离子注入机均匀性调节与控制方法研究
《电子工业专用设备》2016年第10期1-5,共5页彭立波 钟新华 张赛 张进学 
宽带束离子注入机的均匀性调节系统由线圈磁铁组及可调磁极组组成,通过分析调节原理,结合实际调试中获得的可调磁极组中单个磁极调节的束流均匀性影响曲线,拟合曲线,建立束流均匀性影响模型,进一步推导出调节模型。在实际应用中,设计合...
关键词：宽带束 离子注入机 均匀性调节 迭代算法 
离子注入机剂量控制器设计被引量：3
《自动化博览》2016年第10期92-95,共4页钟新华 彭立波 易文杰 
剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能有精确测量离子注入机束流与注入剂量,控制离子束在电场中水平运动,并使离子均匀地分布在水平方向和同步垂直扫描运动完成离子注入的剂量控制。基于这些功能要求,本文提出了一种高精密、多功...
关键词：离子注入 剂量控制 扫描波形 位置同步 
空间植物栽培用OLED平板光源的设计与实现
《载人航天》2016年第4期488-493,共6页陈长平 王迪平 张建国 董克冰 钟新华 
载人航天预先研究项目(040201)
针对空间植物栽培对光照的需求,研制了一种高效、高亮度,能在特殊环境中长时间稳定工作的叠层OLED平板光源样机。测试结果表明,该平板光源在15 V电压的驱动下,发光亮度高达2198 cd/m2,在电流密度为25 m A/cm2条件下,达到最大发光效率46....
关键词：n太空植物栽培 OLED平板光源 高效 高亮度 
基于NI CompactRIO的离子注入机剂量控制系统设计被引量：4
《工业控制计算机》2016年第1期4-6,9,共4页钟新华 袁卫华 
剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能是精确控制注入剂量和注入离子的均匀分布。提出了一种基于NI Compact RIO嵌入式实时控制器的离子注入机剂量控制系统。首先介绍了离子注入机剂量控制系统工作原理,怎样实现将离子束按设定的...
关键词：CompactRIO嵌入式实时控制器 剂量控制 均匀性控制 水平扫描控制 垂直扫描控制 
基于DeviceNet现场总线的快速热处理设备控制系统设计
《工业加热》2010年第3期49-51,55,共4页钟新华 龙会跃 
介绍了一种基于DeviceNet现场总线的快速热处理设备控制系统。首先介绍了该系统的硬件构成,本控制系统采用了基于现场总线和模块化设计思想,使得该系统的能够满足快速热处理设备的加热腔的数量可任意配置,具有很好的可扩展性;然后提出...
关键词：DEVICENET总线 快速热处理 体系结构 温度控制器 系统模型 
快速退火炉热源及其温度均匀性设计被引量：1
《工业加热》2009年第2期44-46,共3页龙会跃 李岳 邱小莎 钟新华 
根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源分区的设计思想。
关键词：快速退火炉 晶片 功率密度 分区 
基于系统模型的快速退火炉温度控制器设计
《激光与红外》2009年第2期197-200,共4页龙长林 钟新华 
提出了一种基于系统模型的快速退火炉温度控制方法。首先采用分段线性化方法和系统辨识方法获得精确的快速退火炉系统模型;然后将该系统模型作为温度控制器的前馈控制,用来提前预测控制输出,提高系统的响应速度,并在此基础上增加反馈控...
关键词：系统模型 系统辨识 温度控制器 前馈控制 反馈控制 
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