注入机

作品数：249被引量：155H指数：6
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旋转批靶离子注入机靶室晶圆传送系统设计
《电子工业专用设备》2025年第1期28-32,54,共6页郭锐利 彭立波 罗才旺 
为满足旋转批靶离子注入机的自动化需求,设计了旋转批靶离子注入机的靶室晶圆传送系统,介绍了靶室结构和晶圆传送流程、片库腔体、机械手腔体和靶室腔体;分析了3种传片流程,并进行比较;论述了靶室运动控制系统及硬件和软件设计思路。最...
关键词：离子注入机 晶圆传送系统 真空机械手 靶室 运动控制 
VIISta HCS离子注入机在离子束优化与检测期间的金属污染探究及改善
《电子与封装》2025年第2期74-78,共5页李天清 
针对半导体行业所面临的金属污染问题,VIISta HCS离子注入机虽已具备若干成熟的改进措施,然而在先进制程对离子注入工艺金属纯净度要求日益严格的当下,迫切需要明确该机型金属污染的其他潜在原因。该机型在进行离子束优化与检测的过程中...
关键词：离子注入 离子束 金属污染 法拉第杯 
碳化硅离子注入机控制系统优化设计
《中国集成电路》2024年第11期87-91,共5页盛飞龙 伍三忠 梁启恒 仇礼钦 孔倩茵 
为对碳化硅离子注入机控制系统进行优化提升,从离子注入机的原理开始,描述了离子注入机的基本结构组成,并对控制系统的架构设计进行了一定的分析和阐述;接下来详细介绍了碳化硅离子注入机控制系统几个重要部件优化设计,包括加热优化设...
关键词：离子注入机 控制系统 碳化硅 部件 优化设计 
离子注入机注入中断检测及补注入控制设计
《中国集成电路》2024年第10期79-82,共4页李建基 李士会 
离子注入机在进行元素掺杂的过程中,会因离子源区打火、气流不稳定等各种因素导致掺杂的过程发生束流漂移而导致注入中断,中断检测与补注入方案的缺陷将导致掺杂过程中束流状态检测不准确、不及时、补注入不准确等问题,严重影响注入机...
关键词：束流中断 束流漂移 中断检测 补注入 工艺验证 
用于SiC注入机的吸极系统设计
《电子工业专用设备》2024年第5期17-21,共5页袁卫华 彭立波 罗才旺 游俊健 
介绍了用于SiC注入机的离子束流吸极系统设计,吸极系统是一个三维可调的运动部件,吸极系统的电极板在X、Y、Z三轴伺服电机的驱动作用下实现3个方向精确可调;加载在电极板上的吸极高压和吸极抑制高压双重高压电场作用下,实现所需不同种...
关键词：碳化硅 注入机 吸极系统 
基于离子注入机的PFG控制系统设计
《中国集成电路》2024年第8期46-51,共6页林萍 高瑞松 尚成国 
PFG(Plasma Flood Gun),即等离子淋浴发生器,PFG控制系统的控制方式主要是通过硬件电路来实现的,该硬件电路可以自动调节到满足工艺所要求的弧流与灯丝电流。先前的控制方式是依靠软件赋值来调节灯丝电流与弧压电流,这样的控制方式存在...
关键词：控制器 弧压电源 灯丝电源 PFG闭环控制器 
一种有效提升离子注入机离子源寿命的方法
《今日制造与升级》2024年第5期173-176,共4页魏宏杰 周升 陈海军 杨旺杰 
文章主要介绍了半导体离子注入设备中的关键部件离子源在硼注入过程中存在寿命偏低的问题。并对这个问题的形成机理进行研究,从而提出了解决这一问题的一种有效办法。通过在离子注入机使用的杂质源BF3中增加H2,形成混合气体。实验证明,...
关键词：离子注入 离子源 卤素循环 束流 
从“差三代”到“全覆盖”——国产离子注入机自主研发攻关纪实
《中国科技财富》2024年第4期36-37,共2页付毅飞 
提起离子注入机,熟悉集成电路的人都知道,该设备与光刻机、刻蚀机、镀膜机并称为芯片制造的“四大核心装备”,其高端市场长期被国外垄断。20多年前,为突破集成电路装备自主创新的堵点卡点,中国电科所属中电科电子装备集团(以下简称“电...
关键词：离子注入机 芯片制造 光刻机 集成电路 电子装备 高端市场 镀膜机 核心装备 
国产碳化硅离子注入机的设计开发
《电子工业专用设备》2024年第1期38-42,共5页袁卫华 李进 罗才旺 许波涛 
为进一步增加SiC离子注入技术的自主可控能力和降低SiC器件的成本,SiC离子注入机的国产替代迫在眉睫。主要介绍国产SiC离子注入机的研制过程和其中的三大关键技术,目前国产SiC离子注入机核心技术攻关已取得突破并得到产线应用,器件良品...
关键词：碳化硅 高能离子注入机 金属离子源 高温注入 
基于DBN的离子注入机故障诊断方法研究被引量：1
《湖南工业职业技术学院学报》2024年第1期33-37,44,共6页颜秀文 曹丽婷 宋莹洁 高梓文 
国产半导体制造工艺的发展越来越受到重视,但是设备的故障常常会对工业生产造成阻碍。在这种背景下,通过学习大量的故障数据并自动提供准确的诊断结果的人工智能技术,已经得到了广泛的应用。本研究提出了一种基于深度置信网络(DBN)的故...
关键词：智能故障诊断 深度学习 半导体设备 离子注入机 
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