注入机

作品数：249被引量：155H指数：6
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相关机构：北京中科信电子装备有限公司中国电子科技集团公司第四十八研究所北京烁科中科信电子装备有限公司上海华力微电子有限公司更多>>
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《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4721H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2061H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《中国集成电路》
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作品数：11505被引量：3714H指数：13
issn：1681-5289cn：11-5209/TN
主办单位：中国半导体行业协会
发文主题：半导体 集成电路 芯片 集成电路产业 微电子
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《核技术》
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作品数：6998被引量：13539H指数：23
issn：0253-3219cn：31-1342/TL
主办单位：中国科学院上海应用物理研究所;中国核学会
发文主题：核技术 离子注入 中子 熔盐堆 铀
发文领域：核科学技术 理学 医药卫生 电子电信 天文地球
《真空》
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作品数：4802被引量：6194H指数：23
issn：1002-0322cn：21-1174/TB
主办单位：中国机械工业集团有限公司沈阳真空技术研究所有限公司
发文主题：真空 真空技术 磁控溅射 真空系统 真空泵
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 冶金工程
《半导体信息》
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作品数：6037被引量：189H指数：3
主办单位：中国半导体行业协会分立器件分会；中国电子科技集团公司第五十五研究所
发文主题：半导体市场 半导体 GAN 氮化镓 SIC
发文领域：经济管理 电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《集成电路应用》
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作品数：16757被引量：13785H指数：18
issn：1674-2583cn：31-1325/TN
主办单位：上海贝岭股份有限公司
发文主题：集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《LSI制造与测试》
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作品数：366被引量：542H指数：5
cn：31-1459/TN
主办单位：上海光学仪器研究所
发文主题：集成电路 电子工业 半导体材料 电子专用设备 单晶炉
发文领域：电子电信 经济管理 一般工业技术 电气工程 自动化与计算机技术
《北京师范大学学报（自然科学版）》
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作品数：6066被引量：20163H指数：43
issn：0476-0301cn：11-1991/N
主办单位：北京师范大学
发文主题：离子注入 英文 黑洞 征稿简则 学术刊物
发文领域：理学 天文地球 生物学 环境科学与工程 文化科学
《机械工程师》
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作品数：26307被引量：28675H指数：27
issn：1002-2333cn：23-1196/TH
主办单位：黑龙江省机械科学研究院
发文主题：有限元分析 有限元 优化设计 仿真 机床
发文领域：机械工程 金属学及工艺 自动化与计算机技术 交通运输工程 经济管理
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