《电子工业专用设备》

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《电子工业专用设备》
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
最新期次：2025年1期更多>>
发文主题：半导体半导体设备集成电路半导体产业晶圆更多>>
发文领域：电子电信经济管理自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文作者：童志义鲜飞翁寿松柳滨陈大鹏更多>>
发文机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所中国电子科技集团公司第二研究所中国电子科技集团公司第四十八研究所中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项国家重点基础研究发展计划更多>>
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碳化硅衬底化学机械研磨机理
《电子工业专用设备》2025年第1期21-27,共7页罗付 蔡长益 潘宏明 詹阳 
化学机械平坦化(CMP)作为能够实现局部和全局平坦化的唯一方法,被广泛应用于碳化硅衬底加工中,其成本在碳化硅衬底加工中占30%~40%[1]。抛光液作为化学机械平坦化的主要耗材之一,不同抛光液的选取对平坦化的效果不同。为此针对不同磨料...
关键词：碳化硅 化学机械平坦化 抛光液 抛光垫 修整器 
旋转批靶离子注入机靶室晶圆传送系统设计
《电子工业专用设备》2025年第1期28-32,54,共6页郭锐利 彭立波 罗才旺 
为满足旋转批靶离子注入机的自动化需求,设计了旋转批靶离子注入机的靶室晶圆传送系统,介绍了靶室结构和晶圆传送流程、片库腔体、机械手腔体和靶室腔体;分析了3种传片流程,并进行比较;论述了靶室运动控制系统及硬件和软件设计思路。最...
关键词：离子注入机 晶圆传送系统 真空机械手 靶室 运动控制 
碳化硅减薄后的清洗工艺研究
《电子工业专用设备》2025年第1期33-36,共4页孙莉莉 袁晓春 李远航 
介绍了碳化硅减薄后清洗的工艺过程和原理,主要研究了碳化硅清洗过程中清洗方法、清洗时间、清洗气压对清洗效果的影响。提出改善清洗效果的工艺措施,为提高碳化硅加工过程中的清洗效率提供指导。
关键词：碳化硅减薄 清洗 工艺研究 
洁净厌氧烘箱的锁紧机构改造及温度均匀度优化
《电子工业专用设备》2025年第1期37-40,共4页苏杭 陈磊 熊伟尉 白杨 施国政 
介绍了洁净厌氧烘箱的运行原理,以及腔体温度分布的测量方法,并应用该方法对烘箱进行热分布实验测试。对影响腔体温度分布的因素展开研究,并通过对设备锁紧机构的升级改造,改善烘箱腔门密封性,实现了对腔体温度均匀度、上下偏差值等关...
关键词：设备改造 温度均匀度 热分布实验 烘箱 
运动台平衡质量气浮导轨设计及制造工艺研究
《电子工业专用设备》2025年第1期41-45,共5页赵宝君 田世伟 赵宏亮 李建辉 范少峰 李超 
运动台平衡质量气浮导轨主要用于运动导向气浮面和平衡质量配重,具有质量大、精度高的特点,加工难度较大;其性能直接影响运动台的运动性能,利用有限元软件ANSYS对气浮导轨进行静力学仿真分析,对气浮导轨的优化设计和加工制造提供理论依据。
关键词：平衡质量 静力学 有限元 加工制造 
半导体自动涂胶显影技术及设备研究
《电子工业专用设备》2025年第1期46-49,72,共5页黄华佑 杨丹 李运泉 
半导体晶圆全自动涂胶显影系统研究(2024QT-2-02)。
随着集成电路的特征尺寸不断缩小和晶圆尺寸的不断增大,半导体自动涂胶显影设备(Track)的技术水平显著影响整个集成电路制造过程的精度和效率。介绍了半导体自动涂胶显影设备的工艺技术及流程,对其关键部件及功能进行了分析,并就涂胶均...
关键词：半导体 涂胶显影设备 工艺技术 涂胶均匀性 温度控制 自动化 
基于Ansys CFX的激光剥膜设备工艺腔室进气优化仿真分析
《电子工业专用设备》2025年第1期50-54,共5页曹国斌 王贵森 
基于Ansys CFX模拟激光剥膜设备工艺腔室内气体分布和稳定后腔室内氮气浓度的情况,经过CFX仿真分析得出:在前上方2个进口、后侧方2个出口固定情况下,对比分析增设匀流板前后流体分布,仿真明确在入口附近增设匀流板效果较好,改进后腔体...
关键词：激光剥膜设备 流动仿真 氧气浓度 匀流板 
自动化设备EtherCAT总线掉线原因分析和解决方案研究
《电子工业专用设备》2025年第1期55-58,共4页范新丽 李云峰 
在现代工业自动化技术中,EtherCAT总线技术以实时性高和传输速度快的优势在自动化设备中得到了广泛应用。然而,在实际应用中,EtherCAT总线掉线问题时有发生,成为影响自动化设备稳定性和可靠性的重要因素。通过分析EtherCAT总线掉线的原...
关键词：自动化设备 EtherCAT总线 掉线问题 稳定性 解决方案 
基于WCF通信技术的服务平台设计与实现
《电子工业专用设备》2025年第1期59-62,67,共5页马春华 姚昕明 胡希雅 
针对传统单体软件系统模块耦合度高、协作困难,接口规范差异性大、业务功能扩展难度大等问题,基于WCF通信技术,以SOA体系结构为基础,规范服务接口定义,构建统一的服务管理机制执行服务部署、启动、停止、卸载、服务状态变更通知等操作,...
关键词：通信技术 服务平台 面向服务架构(SOA) Windows通信开发接口(WCF) 服务管理 
基于CODESYS平台的免输入刷卡登录权限系统设计
《电子工业专用设备》2025年第1期63-67,共5页李永明 范新丽 李云峰 
随着PLC技术迅猛发展,高级编程语言在PLC中的应用也日益广泛,CODESYS平台作为其中一款PLC编程软件,支持面向对象的编程特点,逐渐成为连接电子、工控和IT行业的重要纽带,极大地推动着工控自动化领域的发展。基于CODESYS平台,在HMI人机交...
关键词：CODESYS 刷卡登录权限系统 安全管理 
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