《LSI制造与测试》

作品数：366被引量：542H指数：5
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《LSI制造与测试》
主办单位：上海光学仪器研究所
最新期次：1997年4期更多>>
发文主题：集成电路电子工业半导体材料电子专用设备单晶炉更多>>
发文领域：电子电信经济管理一般工业技术电气工程更多>>
发文作者：薛实福罗宏昌李庆祥曹惠椿宋后定更多>>
发文机构：电子工业部中国科学院上海三基电子工业有限公司国营第八九八厂更多>>
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电子工业中应用的真空技术与设备
《LSI制造与测试》1997年第4期1-3,共3页董元昌 
关键词：电子工业 真空技术 设备 
改善深亚微米光刻图形质量的途径被引量：1
《LSI制造与测试》1997年第4期4-12,共9页姚汉民 罗先刚 
本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术；大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术，多焦面曝光技术以及表面成技术的和现状作了较为详细的阐述，提出了增大０．３５μｍ图表的...
关键词：微电子学 相移掩模 光刻 IC 
谈谈非ODS清洗设备
《LSI制造与测试》1997年第4期13-16,共4页邹熹 
关键词：清洗技术 ODS 清洗设备 无线电工厂 
清洗剂领域的新品——新一代RR—1无氯清洗剂
《LSI制造与测试》1997年第4期17-18,共2页秦祥生 
关键词：清洗剂 RR-1无氯清洗剂 制冷系统 CFCS 
电子计算机机房的静电防护
《LSI制造与测试》1997年第4期22-27,共6页
关键词：电子计算机 机房 静电防护 
永久性抗静电PVC地板的静电防护特性
《LSI制造与测试》1997年第4期28-29,共2页
关键词：抗静电PVC地板 PVC地板 静电防护 永久性 
测试电子设备抗电磁干扰性能的国际标准
《LSI制造与测试》1997年第4期30-30,27,共2页
关键词：电子设备 抗电磁干扰 测试 国际标准 
抓开发 促营销推进企业加快发展
《LSI制造与测试》1997年第4期33-35,共3页周明孝 
关键词：企业经营管理 企业管理 新产品开发 
在市场经济大潮中求生存求发展
《LSI制造与测试》1997年第4期36-38,35,共4页卢仰斌 
关键词：西安理工大学 校办工厂 经济效益 
调整产品结构 狠抓内部管理 促进企业效益提高
《LSI制造与测试》1997年第4期39-41,52,共4页曾润生 
关键词：电子工业 贵州 企业管理 振华集团 
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