《LSI制造与测试》

作品数：366被引量：542H指数：5
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《LSI制造与测试》
主办单位：上海光学仪器研究所
最新期次：1997年4期更多>>
发文主题：集成电路电子工业半导体材料电子专用设备单晶炉更多>>
发文领域：电子电信经济管理一般工业技术电气工程更多>>
发文作者：薛实福罗宏昌李庆祥曹惠椿宋后定更多>>
发文机构：电子工业部中国科学院上海三基电子工业有限公司国营第八九八厂更多>>
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李庆祥
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作品数：130被引量：994H指数：13
发文主题：集成电路 柔性铰链 微装配 母盘 近场光存储
发文领域：机械工程 自动化与计算机技术 电子电信 理学 金属学及工艺
薛实福
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作品数：40被引量：51H指数：4
发文主题：集成电路 力传感器 原子力显微镜 显微镜 线宽
发文领域：机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 金属学及工艺 理学
罗宏昌
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作品数：4被引量：2H指数：1
发文主题：舱口盖 静电 事故分析 运输安全 油轮
发文领域：交通运输工程 环境科学与工程 自动化与计算机技术 电气工程 电子电信
卢仰斌
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发文主题：经济大潮 校办工厂
发文领域：文化科学
宋后定
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作品数：13被引量：26H指数：4
发文主题：永磁材料 锶铁氧体 永磁铁氧体 永磁体 特性参数
发文领域：一般工业技术 电气工程 经济管理 金属学及工艺
钱振宇
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发文领域：电子电信 电气工程 交通运输工程 机械工程 一般工业技术
姚汉民
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作品数：76被引量：170H指数：6
发文主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发文领域：电子电信 机械工程 理学 自动化与计算机技术 生物学
罗晋生
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作品数：148被引量：200H指数：7
发文主题：砷化镓 双极晶体管 X GAAS HBT
发文领域：电子电信 理学 机械工程 航空宇航科学技术 核科学技术
郭世勇
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作品数：1
发文主题：企业管理
发文领域：经济管理
罗先刚
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作品数：92被引量：316H指数：8
发文主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发文领域：电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 一般工业技术
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