袁卫华

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文主题：系统设计COMPACTRIONI离子注入机嵌入式更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》《工业加热》《工业控制计算机》更多>>
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单晶圆注入机注入角度测量与补偿系统设计
《电子工业专用设备》2017年第2期11-15,共5页袁卫华 钟新华 彭立波 
在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂元素在晶体管中的分布深度和范围的变化,进而导致器件参数和性能的巨大变化。研究表明注入角度控制取决于...
关键词：单晶圆 注入机 角度 测量 补偿 
适应于快速热处理设备的温度测量与控制系统设计
《工业加热》2017年第2期44-47,共4页钟新华 胡振东 龙会跃 袁卫华 
提出了一种适应于快速热处量设备(RTP)的温度测量与控制方法。介绍了快速热处理设备工作原理和主要关键技术;针对温度测量与温度控制两大关键技术,提出了先进的解决方案,即一种增强反射及发射率在线测量与补偿的温度测量方法和基于系统...
关键词：快速热处理 红外测温 多输入多输出系统(MB40) 系统模型 温度控制器. 
基于NI CompactRIO的离子注入机剂量控制系统设计被引量：4
《工业控制计算机》2016年第1期4-6,9,共4页钟新华 袁卫华 
剂量控制器是离子注入机的核心部件,主要功能是精确控制注入剂量和注入离子的均匀分布。提出了一种基于NI Compact RIO嵌入式实时控制器的离子注入机剂量控制系统。首先介绍了离子注入机剂量控制系统工作原理,怎样实现将离子束按设定的...
关键词：CompactRIO嵌入式实时控制器 剂量控制 均匀性控制 水平扫描控制 垂直扫描控制 
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