龙娟

作品数：3被引量：2H指数：1
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强流氧离子注入机装卸片控制系统被引量：1
《电子工业专用设备》2009年第9期38-40,共3页罗宏洋 汤辉 龙娟 
介绍了一种用于强流氧离子注入机的装卸片控制系统,控制系统采用多轴运动控制器实现了多个电机的协同运动,解决了晶圆在传送过程中的中心偏差校正和角度校正的问题,并最终实现了晶圆的全自动传送。
关键词：离子注入机 微粒污染 全自动 装卸片 
光学编码器在离子注入机中的应用
《微细加工技术》2004年第1期28-31,共4页孙勇 罗宏洋 龙娟 
具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其...
关键词：光学编码器 离子注入机 位置偏差 大规模集成电路 机电一体化 控制系统 
氮窑氧含量巡回检测分析仪的抗干扰设计被引量：1
《电子工业专用设备》2003年第4期59-61,共3页龙娟 易臻希 林伯奇 
简要介绍了在氮窑氧含量巡回检测分析仪的研制过程中,硬件、软件设计时针对系统电源、接地、印制电路板布线、信号滤波等方面采取的抗干扰措施。实践表明,采用了诸多抗干扰措施的系统运行稳定可靠,抗干扰效果尤其显著。
关键词：抗干扰设计 巡回检测 可靠性 
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