光学编码器在离子注入机中的应用  

Application of Optical Encoder in Ion Implanter

作　　者：孙勇[1] 罗宏洋[1] 龙娟[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第48研究所,长沙410111

出　　处：《微细加工技术》2004年第1期28-31,共4页Microfabrication Technology

摘　　要：具有高度自动控制功能的离子注入机能够实现精确的测量晶片在片盒中的位置、控制晶片的装卸及晶片在靶盘上的定位等系列功能。光学编码器作为一种高精度的传感器是实现其机电一体化的关键部件之一。主要介绍了光学编码器的基本原理及其在控制系统中的应用,分析了其引起系统位置偏差及故障的原因。The ion implanter with high automatically control system has a series of functions, such as accurately measuring the location of wafer in the loadlock, controlling the loading and unloading of wafer and locating the wafer in the disc, etc.The optical encoder is the key part of its electronics system as a kind of high accurate sensor.The optical encoder and its application principle in the control system are introduced and the reasons for the system location deviation and malfunction are analyzed.

关 键 词：光学编码器 离子注入机 位置偏差 大规模集成电路 机电一体化 控制系统 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]