一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用  

作　　者：虞益挺[1] 苑伟政[1] 燕斌[1] 李太平[1] 姜澄宇[1] 

机构地区：[1]西北工业大学微/纳米系统实验室,西安710072

出　　处：《科学通报》2009年第19期2993-2997,共5页Chinese Science Bulletin

基　　金：国家自然科学基金(批准号:50775189);西北工业大学博士论文创新基金(编号:CX200611)资助项目

摘　　要：采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测得,研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°,对应的最大闪耀波长达到中红外4.88μm.在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件,研究了其在多光谱成像领域应用的可行性,并搭建了多光谱成像系统的原型样机,得到了较好的实验结果.最后,讨论了该成像系统的优点,并提出了进一步研究的建议.

关 键 词：微型可编程闪耀光栅 表面微加工 光谱调制 多光谱成像 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]