燕斌

作品数：9被引量：26H指数：4
导出分析报告
供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：扫描镜刻蚀微机电系统锚点微机械更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《光子学报》《传感技术学报》《光学学报》《科学技术与工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-9
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种新型微机电系统扫描镜的谐振频率研究被引量：8
《光学学报》2012年第6期191-197,共7页燕斌 苑伟政 乔大勇 刘耀波 吴蒙 李昭 
国家自然科学基金(50805123);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题
在微光机电系统(MOEMS)技术的基础上,采用绝缘体上硅(SOI)的体硅加工工艺,设计并加工制作了一种新型的静电驱动的谐振式微机电系统(MEMS)扫描镜。介绍了其基本工作原理及结构设计特点;理论计算了圆形和方形两种结构的尺寸扫描镜的谐振频...
关键词：光学器件 微光学器件 扫描镜 绝缘体上硅 谐振频率 迟滞频率响应 
一种新型谐振式微机电系统扫描镜及其利萨如图形显示被引量：5
《光学学报》2012年第5期215-221,共7页燕斌 苑伟政 乔大勇 刘耀波 
国家自然科学基金(50805123);教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075)资助课题
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型谐振式扫描镜,该扫描镜采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺,静电梳齿驱动,利用工艺中残余应力的释放产生垂直梳齿偏差,作为启动电极。针对该器件的机电性能,设计并搭建了一套光学系统测试其性能...
关键词：集成光学 微光机电系统 扫描镜 绝缘体上硅 利萨如图形 激光投影 
MEMS扫描镜机电特性测量系统的设计
《光电工程》2011年第12期28-34,共7页刘耀波 苑伟政 乔大勇 燕斌 
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-10-0075);国家自然科学基金(50805123)
本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究。首先,介绍了MEMS扫...
关键词：微机电 扫描镜 机电特性 测量系统 
基于微扫描镜的激光投影(英文)被引量：7
《光子学报》2011年第11期1625-1629,共5页李昭 苑伟政 吴蒙 燕斌 乔大勇 刘耀波 
The Program for the New Century Excellent Talents in University,Ministry of Education of China(No.NCET-10-0075);the National Natural Science Foundation of China(No.50805123
利用微机械加工技术制造出一种新型微扫描镜,结合半导体激光器,可用于投影显示.激光器发出的光束被两个分别沿着X轴、Y轴扭转的镜面相继反射,扫描出二维图形.实验测得扫描镜在15V电压,频率为扫描镜谐振频率2倍的方波信号驱动下,镜子的...
关键词：微扫描镜 李萨如图 振动频率组合 激光投影 
一种垂直梳齿驱动V型梁微镜设计(英文)被引量：2
《传感技术学报》2011年第5期658-664,共7页李晓莹 孙瑞康 燕斌 乔大勇 
国家自然科学基金项目(50805123)
设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下,镜面转角可达0.7°,能够满足镜面扫描所需要的起始角。同时对比了不同支撑梁结构下的前五阶模态频率以...
关键词：微镜 微扫描镜 微光机电系统 垂直梳齿 
基于DSP的传感器高压控制系统设计
《科学技术与工程》2011年第4期760-763,778,共5页李晓莹 程步青 乔大勇 燕斌 
静电力驱动在微机电系统中的应用十分广泛,但采用静电力驱动时所需控制电压较高。设计一种以定点数字信号处理器TMS320F2812为核心的传感器高压控制系统,采用USB2.0与PC机进行通讯,接收致动器所需控制电压,并控制D/A转换器输出,经过高...
关键词：静电力驱动 数字信号处理器 通用串行总线 高压控制系统 
一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试被引量：5
《光学学报》2010年第11期3128-3132,共5页燕斌 苑伟政 虞益挺 乔大勇 孙瑞康 李太平 
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助课题
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 微型可编程光栅 周期可调光栅 玻璃体上硅(SOG) 衍射特性 
一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究被引量：4
《光子学报》2010年第4期618-621,共4页李太平 李晓莹 虞益挺 燕斌 孙瑞康 乔大勇 
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助
介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法...
关键词：微机电系统 周期可调光栅 激光三角法 图像处理 
一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用
《科学通报》2009年第19期2993-2997,共5页虞益挺 苑伟政 燕斌 李太平 姜澄宇 
国家自然科学基金(批准号:50775189);西北工业大学博士论文创新基金(编号:CX200611)资助项目
采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测...
关键词：微型可编程闪耀光栅 表面微加工 光谱调制 多光谱成像 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部