孙瑞康

作品数：3被引量：11H指数：2
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供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：SOI晶圆微细加工微机械微机电系统衍射特性更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学学报》《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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一种垂直梳齿驱动V型梁微镜设计(英文)被引量：2
《传感技术学报》2011年第5期658-664,共7页李晓莹 孙瑞康 燕斌 乔大勇 
国家自然科学基金项目(50805123)
设计了一种垂直梳齿驱动的V型扭转梁支撑的微镜器件。采用有限元仿真和解析方法对该器件进行了静态和动态分析。在100 V直流电压下,镜面转角可达0.7°,能够满足镜面扫描所需要的起始角。同时对比了不同支撑梁结构下的前五阶模态频率以...
关键词：微镜 微扫描镜 微光机电系统 垂直梳齿 
一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试被引量：5
《光学学报》2010年第11期3128-3132,共5页燕斌 苑伟政 虞益挺 乔大勇 孙瑞康 李太平 
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助课题
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 微型可编程光栅 周期可调光栅 玻璃体上硅(SOG) 衍射特性 
一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究被引量：4
《光子学报》2010年第4期618-621,共4页李太平 李晓莹 虞益挺 燕斌 孙瑞康 乔大勇 
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助
介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法...
关键词：微机电系统 周期可调光栅 激光三角法 图像处理 
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