李太平

作品数：3被引量：9H指数：2
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供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：微机电系统衍射特性掩膜版SOI晶圆高深宽比更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学学报》《光子学报》《科学通报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试被引量：5
《光学学报》2010年第11期3128-3132,共5页燕斌 苑伟政 虞益挺 乔大勇 孙瑞康 李太平 
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助课题
研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色...
关键词：微光机电系统(MOEMS) 微型可编程光栅 周期可调光栅 玻璃体上硅(SOG) 衍射特性 
一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究被引量：4
《光子学报》2010年第4期618-621,共4页李太平 李晓莹 虞益挺 燕斌 孙瑞康 乔大勇 
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助
介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法...
关键词：微机电系统 周期可调光栅 激光三角法 图像处理 
一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用
《科学通报》2009年第19期2993-2997,共5页虞益挺 苑伟政 燕斌 李太平 姜澄宇 
国家自然科学基金(批准号:50775189);西北工业大学博士论文创新基金(编号:CX200611)资助项目
采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测...
关键词：微型可编程闪耀光栅 表面微加工 光谱调制 多光谱成像 
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