MEMS,超越摩尔定律的突破口  

作　　者：王志华 

出　　处：《集成电路应用》2009年第11期15-16,18,共3页Application of IC

摘　　要：半导体技术在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期，而超越摩尔定律的新兴技术却受到了众多公司的青睐，其中MEMS以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球。日前，在由上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室、《半导体国际》、《EDN China》主办的“MEMS设计制造技术与产业化高峰论坛”上，来自产业链和学术界的专家汇聚一堂，分享了MEMS设计制造技术的方案，探讨了MEMS产业未来的发展之道。

关 键 词：MEMS 摩尔定律 国家重点实验室 《半导体国际》 半导体技术 破口 制造技术 EMS产业 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学] TH-39[机械工程]