平膜式流量芯片的研制  

Research on Plate Diaphragm Type Flow Sensor

作　　者：程颖[1] 王江[1] 尹延昭[1] 刘亚娟[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第49研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《计量与测试技术》2009年第11期27-28,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：本文介绍了一种平膜结构的流量芯片,阐述了其结构设计、电路设计等关键技术,同时也对该芯片制成的流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明:该传感器具有测量精度高、体积小、功耗低、一致性好、互换性好等特点。

关 键 词：流量传感器 平膜结构 微加工技术 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]