MEMS微机电感测技术擅场时代  

作　　者：廖惠如 

出　　处：《电子与电脑》2009年第12期32-36,共5页Compotech

摘　　要：自从20年前由ADI(亚德诺半导体)做成业界第一颗MEMS(微机电系统)XL传感器单芯片起,有近十年的时间MEMS传感器几乎都是以汽车的安全气囊应用为主力,以及航天飞行应用上。最近十年,随着MEMS厂商在技术发展上屡见突破,让业界发展出基于MEMS技术的各式产品。MEMS传感器在可携式领域自2007年起逐年呈强劲的成长。应用范围扩及摇控器、PDN、MP3播放器、数字相机、游戏机控制器、笔电、手机到电子书阅读器。尤其是在2000年后,任天堂Wii游戏机大胆采用ADI(亚德诺)和ST(意法半导体)两家的MEMS动作传感器,随即风靡全球消费市场。未来智能型传感器将朝向功能更加强大、尺寸更小型及更低功耗目标迈进,显示MEMS产业的竞技门坎将越来越高,但也越让我们期待新技术的来临。

关 键 词：MEMS传感器 微机电系统 感测技术 意法半导体 MEMS技术 MP3播放器 电子书阅读器 智能型传感器 

分 类 号：TP333.5[自动化与计算机技术—计算机系统结构] TN965[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]