生产制备真空镀膜材料的方法与关键  

作　　者：侯印春 

机构地区：[1]上海特旺光电材料有限公司,上海201800

出　　处：《激光与光电子学进展》2009年第12期129-131,共3页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：镀膜技术的发展可以追溯到18世纪末，但真空镀膜技术是从20世纪30年代才开始崛起。1930年，由油扩散泵和旋片机械泵组成的真空机组为真空镀膜技术的发展推波助澜。真空镀膜发展初期，由于所用材料种类繁多，用户分散，用量甚少，所以无法形成镀膜材料的商品化生产。我国从事镀膜科研和镀膜技术的科技人员也只是根据自身工作的需要，开发所用材料，镀膜材料只是镀膜科技人员“自留地”上的产物。20世纪80年代，国外大型镀膜企业进入我国。

关 键 词：真空镀膜技术 镀膜材料 生产制备 科技人员 商品化生产 真空机组 油扩散泵 材料种类 

分 类 号：TN305.8[电子电信—物理电子学] TS914.252[轻工技术与工程]