油扩散泵

作品数:55被引量:33H指数:3
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相关机构:上海繁枫真空科技有限公司东北大学合肥工业大学东北师范大学更多>>
相关期刊:《微细加工技术》《真空科学与技术学报》《激光与光电子学进展》《云南大学学报(自然科学版)》更多>>
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油扩散泵电磁加热系统的温控研究
《辽宁石油化工大学学报》2019年第5期93-97,共5页梁健源 穆克 佀秀杰 王发科 
辽宁省自然科学基金项目(201602471)
温度对工业控制来说是一个至关重要的参数,温度的精准程度会直接影响工业产品的质量。由于温控系统有惯性大、滞后现象严重的问题,所以难以建立精确的数学模型,这给控制过程带来很大困难。以扩散泵给油加热的升温过程为优化目标,基于经...
关键词:温度控制 模糊-PID控制器 粒子群算法 
日立扫描电镜真空系统的维护
《真空科学与技术学报》2019年第9期811-814,共4页潘桂玲 
国家973计划资助项目(No.2015CB251100)
电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。
关键词:扫描电镜 真空系统 油扩散泵 机械泵 真空油 维护 
真空炉工件变色故障分析及解决措施被引量:4
《金属加工(热加工)》2019年第5期50-53,共4页胡南红 吴明洋 王晓龙 
阐述了真空炉工件氧化变色机理及产生原因分析,提出了真空炉工件变色故障的排除方法,还选择了三次比较典型的维修实例进行了介绍和总结。
关键词:氧分压 真空度 油扩散泵 
吴江市永达石油化工有限公司为您提供——最优的产品、最真诚的服务
《真空》2016年第5期88-88,共1页
<正>吴江市永达石油化工有限公司于一九九九年九月正式投资运行,主要产品为'日大'牌系列真空用油。产品由优质原料油经深度精制而成,产品各项性能指标均已达到国家质量标准要求,并已通过苏州市产品质量监督检验中心的多项检测,是替代进...
关键词:石油化工 油扩散泵 高真空度 监督检验 原料油 产品质量 性能指标 质量标准要求 抽气速率 氧化安定性 
JEM-2000EX电子显微镜真空故障排除被引量:1
《中国医疗设备》2015年第11期170-171,共2页鲁国华 李科 许红 
本文介绍了JEM-2000EX电子显微镜真空故障分析及处理方法。
关键词:电子显微镜 油扩散泵 真空度 灯丝室 医疗设备维修 
保温瓶胆的生产(11)
《玻璃与搪瓷》2015年第2期43-47,共5页毕洁 李刚 
机架要求用硬木制作,木质有重量轻、易加工和不变形的优点。由左右两只机架联成一组,习惯上称为二仓,每仓放置待抽瓶胆10个,架上部有细铅丝联接,以悬挂封接尾管的火焰枪。角铁架是一角钢组成的框架,作为安装和固定排气管的支撑。...
关键词:保温瓶胆 生产 油扩散泵 管路系统 五氧化二磷 真空管道 重量轻 易加工 
油扩散泵返油率的控制分析被引量:3
《真空》2015年第1期57-59,共3页张静 王栋庆 
基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。
关键词:真空系统 油扩散泵 返油 
镀膜设备真空系统主泵的配置被引量:1
《真空》2010年第1期7-10,共4页陈素君 杨静 
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真...
关键词:真空镀膜设备 真空系统 主泵 油扩散泵 分子泵 低温泵 
生产制备真空镀膜材料的方法与关键被引量:1
《激光与光电子学进展》2009年第12期129-131,共3页侯印春 
镀膜技术的发展可以追溯到18世纪末,但真空镀膜技术是从20世纪30年代才开始崛起。1930年,由油扩散泵和旋片机械泵组成的真空机组为真空镀膜技术的发展推波助澜。真空镀膜发展初期,由于所用材料种类繁多,用户分散,用量甚少,所以无...
关键词:真空镀膜技术 镀膜材料 生产制备 科技人员 商品化生产 真空机组 油扩散泵 材料种类 
电镜扩散泵系统的维护与故障分析被引量:3
《现代科学仪器》2008年第6期113-116,共4页林曦 
油扩散泵系统是电镜真空系统的核心部分。本文在分析该系统工作原理的基础之上,着重讨论了系统的日常维护、泵油的选择原则与更换清洗方法、典型故障分析与处理等主要方面的问题,同时提出了对扩散泵系统的维护原则与使用建议,以方便电...
关键词:机械泵 油扩散泵 真空系统 真空泵油 维护 故障分析 
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